In der Halbleiterindustrie benötigen zahlreiche Prozesse hochreines Wasser für ihren Betrieb. Jede Störung der Wasserqualität kann zu einem kostenintensiven Anlagenstillstand führen – dies sollte vermieden werden. Daher ist eine kontinuierliche und schnelle Wasseranalyse erforderlich, um die hohen Qualitätsstandards zu erfüllen.
In der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie werden die hohen Qualitäts- und Reinheitsanforderungen für die Produkt- und Prozesssicherheit durch eine genaue und zuverlässige Online-TOC-Überwachung in den niedrigsten Stufen erfüllt.
Reinstwasser wird unter besonders strengen Vorgaben aufbereitet. Es gilt, die Reinheit in Bezug auf alle Arten von Verunreinigungen zu gewährleisten: organische/anorganische Verbindungen, gelöste/feste oder flüchtige/nichtflüchtige Bestandteile, gelöste Gase, reaktive/inerte Stoffe usw. Abhängig von der jeweiligen Anwendung sind die Anforderungen an die Reinheit von UPW in Normen wie ASTM D5127 und SEMI F63 definiert.